МОСКВА, 4 мая. /ТАСС/. Специалисты Сибирского отделения Российской академии наук создали машину, которая обрабатывает различные поверхности электронным пучком, ионными пучками и магнетронным распылением, сообщили в пресс-службе Минобрнауки РФ. Изобретение предназначено для машиностроительных отраслей, в частности, авиастроения.
"Учеными Томского научного центра СО РАН и Института сильноточной электроники СО РАН разработана и произведена компактная машина "Пульсар", с помощью которой в одном производственном цикле образец может подвергаться сразу трем операциям - обработке электронным и ионными пучками, а также магнетронному распылению. Их комбинация открывает качественно новые возможности для отработки технологий инжиниринга поверхностей сложных сплавов с заранее заданными физико-химическими свойствами для нужд авиа- и машиностроения, инструментов", - отметили в пресс-службе.
Образцы помещаются внутрь вакуумной камеры "Пульсара" на специальный круглый столик, похожий на музыкальный диск, который вращается с помощью манипулятора. Сам процесс обработки поверхности, по мнению разработчиков, можно сравнить с созданием граммпластинки, только вместо вокалистов и музыкальных инструментов на образец "записываются" совсем другие "партии": модификация поверхности электронным и ионными пучками, нанесение и перемешивание пленок с подложками с помощью магнетронного распыления.
Машина снабжена источником питания и электронной пушкой. Все процессы полностью автоматизированы, они протекают значительно быстрее, чем при работе с более крупной установкой, что позволяет быстро найти перспективные технологические решения.
"Преимущества новой установки - это компактность, быстрота обработки образцов, контроль всех параметров происходящих процессов. Ее применение позволит предложить множество различных технологий модификации поверхности материалов, в том числе хрупких и непроводящих. Полученные в результате образцы сразу готовы для дальнейшего исследования с помощью электронного микроскопа, что очень важно для передовых материаловедческих исследований", - рассказал член авторского коллектива, сотрудник лаборатории перспективных технологий ТНЦ СО РАН Всеволод Петров.