Нанолитография методом анодного оксидирования (НАО) применяется к многослойным структурам. Примером НАО явлется нанолитография слоя титана на подложке из оксида кремния. Существует два способа проведения нанолитографии - векторный и растровый. На рисунке представлен сканер, который может осуществлять нанолитографические операции. Теперь рассмотрим проведение силовой литографии. Под литографией понимают. Рассмотрим примеры образцов до и после проведения электрической литографии. В атмосферных условиях титан естественным образом окисляется, образуя сверхтонкий слой TiO2. На поверхности кантилевера и слоя оскида титана образуется слой абсорбированной воды. При приближении зонда образуется водяной мостик под действием капиллярных сил.